激光促进蚀刻是通过对置于反应性气氛中的材料表面照射激光束，选择性的除去光束照射部分的加工方法可以分为激光的热作用和光化学作用。热作用是激光能量直接被材料吸收，使照射光束部分的温度上升，并且熔融引起化学活性化作用，促进蚀刻。光化学作用是激光能量被反应性气氛吸收，在该气氛中产生离子或游离基，由离子或游离基与材料的化学反应实现加工。
这里所说的反应性气氛是指蚀刻用的化学溶液或者反应性气体。采用化学溶液的湿式方法，有只在静止溶液中浸渍材料的方法和通过循环使溶液流动的方法，在材料表面的光束照射部位产生气泡时，后者的方法是有效的。采用反应性气体的干式方法，是在蚀荆室中放置材料，从外面穿过石英玻璃窗口照射光束。在形状加工时，必须使材料与光束的位置作相对移动。包括固定光束，使材料沿xY轴向移动的方法和固定材料，用反射镜进行光束扫描的方法。在加工微细形状时，由于光束的光斑小，因此采用光束固定，材料移动的方法是比较有利的。
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